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阿爾卡特A1503H產(chǎn)品優(yōu)勢(shì)
A系列多級(jí)干式真空泵,結(jié)合羅茨與爪型轉(zhuǎn)子吸氣原理,通過(guò)多級(jí)轉(zhuǎn)子的優(yōu)化組合,大限度利用了多級(jí)羅茨干泵與爪型干式真空泵的優(yōu)勢(shì),從而在較寬的壓力范圍內(nèi)獲得較大的實(shí)際抽速,地實(shí)現(xiàn)了潔凈真空環(huán)境的獲得。
1、高清潔度的真空環(huán)境
2、整機(jī)高可靠性
3、穩(wěn)定的運(yùn)轉(zhuǎn)性能
4、自適應(yīng)智能控制
5、工藝安全性
6、客戶服務(wù)
產(chǎn)品原理
(真空泵維修阿爾卡特A1503H真空泵維修)多級(jí)干式真空泵采用了羅茨轉(zhuǎn)子與爪型轉(zhuǎn)子組合的結(jié)構(gòu),充分利用了羅茨轉(zhuǎn)子在低壓區(qū)抽氣,爪型轉(zhuǎn)子在高壓區(qū)抽氣的特點(diǎn),同時(shí)融合了爪型轉(zhuǎn)子抽氣通道短,壓縮氣體產(chǎn)生熱量更高的特點(diǎn),其性能相對(duì)于傳統(tǒng)單純爪型或單純羅茨真空泵更具優(yōu)勢(shì)。
應(yīng)用:
集成電路、LED領(lǐng)域、太陽(yáng)能電池,可用于裝載腔、傳輸腔等清潔工藝過(guò)程,也可用于PVD、刻蝕,多種CVD等一般制程工藝或苛刻制程工藝過(guò)程。
其他應(yīng)用:
真空鍍膜系統(tǒng)(玻璃鍍膜、精密光學(xué)等);
真空冶金(回火和退火、鋼脫氣,表面處理熔化,精煉,鑄造和焊接等);
真空包裝、食品、化工、醫(yī)藥、電機(jī)制造等工業(yè)蒸餾、蒸發(fā)、干燥等
阿爾卡特真空泵常見問(wèn)題有;
1、真空度不足
2、漏油
3、真空泵卡死
4、燥音大
5、電機(jī)發(fā)熱(真空泵溫度高)
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