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愛(ài)德華EPX180高真空干泵的特性是：工作性能更佳，運(yùn)行成本更低。EPX180使用了獨(dú)特的專利保護(hù)機(jī)械裝置，能夠從大氣壓抽空到小于7×10-5Torr的極限壓力。

模塊化EPX180基于備受贊譽(yù)、大獲成功的IPX系列，可提供卓越的性能，與IPX相比，包裝重量輕了20%、體積小了30%且功率降低了40%。

EPX系列主要特性和優(yōu)勢(shì)

1.占地面積小且重量輕一作為可用的小工具上泵之一，EPX顯著節(jié)省了占地面積。鋁制構(gòu)造使其重量輕巧，增加了安裝選項(xiàng)。EPX可以直接安裝到工具上，從而節(jié)省了前級(jí)管道和安裝成本，如果需要也可遠(yuǎn)程使用。

2.受專利保護(hù)的獨(dú)特泵機(jī)構(gòu)-EPX可以從大氣壓抽空到UHV級(jí)基準(zhǔn)壓力并可在所有入口壓力下連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。

3.超清潔機(jī)構(gòu)-傳統(tǒng)的高真空軸承使用油脂潤(rùn)滑，這可能成為制程工具中污染源。EPX泵沒(méi)有高真空軸承油脂，并且不存在任何其他的潛在污染源

4.非?？煽?EPX具有大約13年的MTBFp(SEMIE10),通常每5年維修一次，大程度地延長(zhǎng)了泵的使用壽命。

EPX系列支持清潔和輕型半導(dǎo)體加工應(yīng)用，如灰化/剝離和注入端點(diǎn)站應(yīng)用。

EPX系列以極輕、極小的封裝提供工具上泵送功能，可實(shí)現(xiàn)異常清潔的真空。EPX泵采用已獲專利的獨(dú)特單軸再生Holweck?分級(jí)機(jī)構(gòu)，能夠從大氣壓抽空到小于7×10-7Torr的極限壓力。

EPX泵能夠以模塊化組件提供增強(qiáng)的性能，既可集成到制程工具，又可以遠(yuǎn)程安裝。此外，通過(guò)集成的MicroTIM電子模塊還可以與制程工具輕松建立通信連接。

EPX180L/EPX180LE技術(shù)參數(shù)：

峰值速度                                   170m3h-1

                                                  105ft3min-1

                                                   2835 Imin-1

極限真空                                    <1×104mbar

                                                   <7.5x10-5Tor

                                                   <1×10-2Pa

預(yù)熱時(shí)間（達(dá)到標(biāo)稱性能）        30分鐘

入口法蘭                                     ISO63

出口法蘭                                     NW25

噪音                                            <59 dB(A)

水接頭                                         3/8in快速

小冷卻水流速                            2 lm-1

冷卻水溫度                                 15-35°

電源供給                                      200/208V,50/60Hz三相

極限功率                                    1.4kW

電機(jī)額定功率                             3.0kW

TIM                                            C3

重量                                           43.5kg

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