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英國的愛德華公司生產(chǎn)了一種將羅茨轉(zhuǎn)子與爪型轉(zhuǎn)子相組合的一種干式真空泵。它利用了在低壓下羅茨泵抽氣比較有效,在較高壓強(qiáng)下爪型干式真空泵抽氣比較有效的特點,將這兩種泵各自的優(yōu)勢匹配起來,組成干式真空泵,其結(jié)果性能比較優(yōu)良。這種泵第一次以最低的運行成本和維護(hù)費用真正實現(xiàn)了干式的爪型干式真空泵特別適用于真空度達(dá)1Pa,含水分和硬質(zhì)腐蝕顆粒的半導(dǎo)體芯片、光學(xué)通訊設(shè)備及平板顯示器等高科技行業(yè)的苛刻工藝流程。在眾多的干式真空泵中,爪型干式真空泵是備受半導(dǎo)體、光學(xué)器件等高科技行業(yè)青昧的一種容積式干式真空泵。
Edwards EDO系列爪式壓縮機(jī)與真空泵和旋片泵及旋轉(zhuǎn)凸輪泵非常相似,都是基于靜態(tài)壓縮系統(tǒng)。和旋轉(zhuǎn)凸泵不同的是,EDC系列是通過內(nèi)部容積收縮實現(xiàn)壓縮。
爪型泵所用電機(jī)轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)高,一般在1500r/min或3000r/min左右。泵在運轉(zhuǎn)時,高溫氣體在泵腔中產(chǎn)生高速的內(nèi)流動,這對于可能會產(chǎn)生潛在污染的場合是很理想的當(dāng)抽除腐蝕性和潮濕的蒸汽的時候,泵體內(nèi)部形成的高溫高速的內(nèi)流動氣流會阻止氣體腐蝕泵體;而且,泵的高溫可以阻止室溫下易凝結(jié)的氣體在泵內(nèi)凝結(jié)。帶有冷卻裝置的爪型干式真空泵可以安全地抽除易燃易爆和對溫度敏感的氣體。
爪式泵包括兩個爪子,爪子在壓縮機(jī)殼體內(nèi)反向無接觸設(shè)轉(zhuǎn),確保間牌非常小,它們通過精密齒輪實現(xiàn)同步運行,當(dāng)瓜移到吸人連接管和軸向吸入通道入口上面,氣體將被最入到壓縮室中。
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