真空泵抽氣分為哪幾個(gè)階段?真空泵是指利用機(jī)械、物理、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對(duì)被抽容器進(jìn)行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來(lái)講，真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善、產(chǎn)生和維持真空的裝置。在泵腔內(nèi)形成通過(guò)旋轉(zhuǎn)產(chǎn)生體積的變化而將氣體排出泵外，主要是在吸氣過(guò)程中，吸氣腔體積增大，真空度降低，將容器內(nèi)氣體吸入泵腔，在排氣過(guò)程中體積變小，壓強(qiáng)增大，最終通過(guò)油封將吸入的氣體排出泵外。

　　按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分為兩種類(lèi)型，即氣體捕集泵和氣體傳輸泵。真空泵抽氣分為三個(gè)階段。任何真空系統(tǒng)都希望盡量縮短抽氣的時(shí)間，這關(guān)系到提高效率和降低能耗，但并不是所有的真空應(yīng)用都具有縮短抽氣時(shí)間的條件。可以把不同的真空應(yīng)用分為兩大類(lèi)：一類(lèi)是不改慮系統(tǒng)內(nèi)的放氣量，而只有真空度的要求;另一類(lèi)是要求真空室內(nèi)充沛的放氣，即放氣率要降到某一臨界值。

　　這兩類(lèi)不同的應(yīng)用對(duì)泵配置的要求是不一樣的對(duì)于前一類(lèi)應(yīng)用，如真空度要求在0.5pa以上，只要時(shí)間常數(shù)足夠的小，便可晝量縮短抽氣的時(shí)間。但如真空度要求在0.5Pa以下，就必需改慮放氣對(duì)壓力變化的影響。放氣量隨時(shí)間的變化緩慢。特別是無(wú)烘烤的情況下。要在預(yù)定較短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到較高的真空度，就必需以較大的抽速抽除較大的放氣量。也就是說(shuō)如放氣量為Q泵的有效抽速為S0則可達(dá)到平衡壓力P=Q/S0如平衡壓力確定，則達(dá)到時(shí)間越短，要求泵的有效抽速就越大。

　　蒸發(fā)鍍膜就是典型的這類(lèi)的應(yīng)用，由于蒸鍍的速度快，時(shí)間短，所以不考慮放氣量的影響(即活性氣體的影響)但蒸發(fā)粒子的能量低，要求絕大部分粒子無(wú)碰撞地沉積到工件上，以保證結(jié)合力及減少散射，這就要求真空室內(nèi)的平均自由程不小于蒸發(fā)源到工件的距離，與此相應(yīng)的壓力約在110-2Pa這便是蒸發(fā)鍍膜對(duì)真空度的要求。如何在盡量短的時(shí)間內(nèi)達(dá)到這一壓力，就對(duì)泵的有效抽速提出了要求，原則是時(shí)間越短，由于放氣量越大，有效抽速就要求越大。所以蒸發(fā)鍍膜一般配置抽速?gòu)?qiáng)大的油擴(kuò)散泵機(jī)組，功率有數(shù)十千瓦，幾分鐘至十幾分鐘內(nèi)便可達(dá)到工作真空度，但該系統(tǒng)對(duì)工件造成的油蒸汽污染是難以防止的特別是塑料金屬化膜層易發(fā)黃。