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二手真空泵的應(yīng)用與性能?真空泵的兩個轉(zhuǎn)子是通過一對高精度齒輪來實現(xiàn)其相對同步運轉(zhuǎn)的。主動軸通過聯(lián)軸器與電機(jī)聯(lián)接。在傳動結(jié)構(gòu)布置上主要有以下兩種:其一是電動機(jī)與齒輪放在轉(zhuǎn)子的同一側(cè)如圖。從動轉(zhuǎn)子由電動機(jī)端齒輪直接傳過去帶動,這樣主動轉(zhuǎn)子軸的扭轉(zhuǎn)變形小,則兩個轉(zhuǎn)子之間的間隙不會因主動軸的扭轉(zhuǎn)變形大而改變,故使轉(zhuǎn)子之間的間隙在運轉(zhuǎn)過程中均勻。首先來講,我們其實也就是要注意就二手真空泵真空泵其實也就是會應(yīng)用在了低壓化學(xué)氣相沉積當(dāng)中的多晶硅制備工藝;再者,就二手真空泵真空泵其實也就是會應(yīng)用了半導(dǎo)體刻蝕工藝。處于這些生產(chǎn)工藝當(dāng)中,這時候,其實也就是會用到或者是生成腐蝕性氣體與相關(guān)的研磨微粒。
再者,就二手真空泵真空泵的應(yīng)用來講的話,除了半導(dǎo)體工藝之外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氲奖糜彤?dāng)中,且希望微粒排出泵之外會用到此設(shè)備;就其處于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)或者是食品工業(yè)當(dāng)中的蒸餾、干燥、脫泡以及其包裝等,要注意去防止有機(jī)溶劑所造成污染,適合用干式真空泵。
緊接著,也就是要注意應(yīng)該是要做一般無油清潔真空系統(tǒng)上的前級泵,這時候也就是能防止油出現(xiàn)污染。
再者,我們其實也就是要注意一下,就不同的真空泵性能比較,首先也就是要注意去觀察一下其真空度,就干式螺桿真空泵、爪式真空泵以及其無油渦旋真空泵極限真空度都比較高,高極限真空也就是會達(dá)到1-2Pa;緊接著,我們其實也就是要注意就其無油往復(fù)真空泵也就是粗真空設(shè)備,極限真空度比較低,需要進(jìn)行搭配羅茨真空泵來進(jìn)行提高其極限真空。
就無油渦旋真空泵來講,因為其內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題,抽氣量比較小,只適用于小抽氣量的工藝當(dāng)中;干式螺桿真空泵型號上比較齊全,這時候,也就是會比較適用大抽氣量工藝當(dāng)中,接下來講的話,我,我們其實也就是要注意就其本身也就是會配合羅茨真空泵能在很大的程度上也就是能滿足不同種類的客戶的需求。
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