干式真空泵是未來(lái)行業(yè)的發(fā)展趨勢(shì)。雖然現(xiàn)在用得不多，但除了價(jià)格高之外，也有用戶(hù)對(duì)干式真空泵不太了解，看不到未來(lái)給企業(yè)帶來(lái)的經(jīng)濟(jì)效益。小編認(rèn)為干式真空泵的維護(hù)重點(diǎn)在于如何優(yōu)化干式真空泵的選擇。

　　對(duì)于這些不同類(lèi)型的干式真空泵，我們渴望減小它們的物理尺寸。但這與真空泵的抽吸速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某槲俾逝c真空泵的體積成正比，并且小的物理尺寸意味著小的體積。當(dāng)然，還有另一個(gè)影響真空泵抽速的重要因素，即轉(zhuǎn)速。為了使小型真空泵的抽速與大型真空泵的抽速相匹配，有必要提高其轉(zhuǎn)速。改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器;二是改變變速箱的傳動(dòng)比。其中，采用變頻器的優(yōu)點(diǎn)是可以提供閉環(huán)控制，但在重載下容易造成轉(zhuǎn)矩?fù)p失。改變變速箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單速。

　　現(xiàn)在，我們可以看到有這么多不同設(shè)計(jì)的干式真空泵，每一個(gè)都有自己的特點(diǎn)，優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。長(zhǎng)期以來(lái)，使用成本是影響人們選擇真空泵的一個(gè)重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶(hù)意識(shí)到真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性也應(yīng)該考慮在內(nèi)。因?yàn)檎婵毡玫囊馔忮e(cuò)誤會(huì)降低機(jī)器的效率，影響晶圓的生產(chǎn)和交付時(shí)間，甚至?xí)斐杉庸ず蟮木A報(bào)廢和機(jī)器其他部件的損壞。由于螺桿設(shè)計(jì)是單級(jí)設(shè)計(jì)，與多級(jí)泵如葉片泵、爪式泵和組合泵相比，使用的零件數(shù)量減少了60%。這使得它在未來(lái)的穩(wěn)定性和維護(hù)成本方面具有很大的優(yōu)勢(shì)。

　　總之，如果用戶(hù)認(rèn)為功耗對(duì)他來(lái)說(shuō)很重要，但氮?dú)庀膶?duì)他來(lái)說(shuō)不重要，那么選擇內(nèi)壓縮螺釘是一個(gè)很好的選擇。總的來(lái)說(shuō)，對(duì)尾氣處理的要求越來(lái)越嚴(yán)格，這使得今后減少氮的用量變得更加重要。如果你想簡(jiǎn)化你的庫(kù)存控制，通過(guò)使用一個(gè)單一類(lèi)型的泵來(lái)處理各種半導(dǎo)體工藝沒(méi)有改變，那么外部壓縮螺釘是你的最佳選擇。

　　在真空泵的維護(hù)中，應(yīng)注意以下幾點(diǎn)：

　　(1)泵的制造精度高，如果不需要，就不必拆卸，以免因維護(hù)不當(dāng)而降低精度。當(dāng)然，維修工人應(yīng)該提高他們的技術(shù)水平。當(dāng)泵的技術(shù)性能惡化時(shí)，應(yīng)及時(shí)修復(fù)，最好定期維護(hù)(一年)。

　　維護(hù)期間，從真空系統(tǒng)中取出泵后，開(kāi)始檢查并泵出。如果確認(rèn)必須拆下泵進(jìn)行修理，按照以下步驟取出：處的保護(hù)蓋，拆下三角帶、大皮帶和排氣口，松開(kāi)各進(jìn)氣口處的壓蓋，待油清洗干凈后，拆下保護(hù)蓋和油封室，取出主軸(不要弄斷鏈條)，然后取出左右座。