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真空泵漏油、噴油是什么原因造成的?真空泵用于許多工業(yè)和科學(xué)過程中,包括復(fù)合塑料成型過程,大多數(shù)類型的電燈,真空管和CRT的生產(chǎn),在該過程中,該設(shè)備可以抽真空或重新填充特定的氣體或混合氣體、半導(dǎo)體加工尤其是離子注入,干法蝕刻和PVD、ALD、PECVD和CVD沉積等在光刻、電子顯微鏡,需要抽吸的醫(yī)學(xué)過程,鈾濃縮,醫(yī)學(xué)應(yīng)用(例如放射治療、放射外科和放射藥學(xué))中,分析儀器,用于分析氣體、液體、固體、表面和生物材料;質(zhì)譜儀可在離子源和檢測器之間產(chǎn)生高真空;一般真空泵不會(huì)出現(xiàn)漏油、噴油的情況,一旦出現(xiàn)了,那么一定是因?yàn)槭裁丛驅(qū)е碌?,那么造成的原因是什么?
(1)轉(zhuǎn)軸、油窗、放油孔、油箱等部位的密封圈損壞或裝配不對。要認(rèn)真查看并更換玻損的密封圈,裝配螺時(shí),用力要均勻。
(2)因前后端面不平整或端板沒有壓緊,造成端面漏油。要將端面修平并壓緊前后端板。
(3)進(jìn)氣口壓強(qiáng)過高。要設(shè)法減少進(jìn)氣量。
(4)真空泵箱體有漏孔。要查看謂孔部位并堵死。
(5)油量過多產(chǎn)生噴油,要放出多余的油。
(6)排氣蓋下面的擋油網(wǎng)裝反引起噴油,要重新裝擋油網(wǎng)。
(7)突然暴露大氣引起噴油。要馬上關(guān)掉低真空閥。
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