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東莞誠合真空設(shè)備有限公司為您提供大量關(guān)于愛發(fā)科真空泵維修ULVAC愛發(fā)科干泵羅茨泵維修，各種真空解決方案

愛發(fā)科NRL180A干式螺桿真空泵一般用于排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等），排出非活性氣體行業(yè)對泵的腐蝕性很大，大多數(shù)真空泵都是因?yàn)楦g后轉(zhuǎn)數(shù)慢，影響到生產(chǎn)效率，需要專業(yè)的廠家維修，東莞誠合真空承接愛發(fā)科NRL180A干式螺桿真空泵維修。

 針對真空泵腐蝕的修復(fù)方法：

徹底清除表面氧化層，用丙酮將表面清洗干凈。噴砂、打磨、涂防腐蝕涂層保護(hù)，專業(yè)的安裝方式完工。

 愛發(fā)科NRL系列在低溫領(lǐng)域下的均熱化，除PVD工藝外，龍其適用于希望提高流量，縮短非氣時(shí)間的重要工藝腔體的排氣。

 愛發(fā)科真空泵NRL180A特點(diǎn)：

 低噪音、低振動、超強(qiáng)的耐腐蝕性。

 標(biāo)準(zhǔn)零部件采用高硬度并經(jīng)過優(yōu)異的防腐蝕特殊表面處理，降低對府蝕性氣體排氣時(shí)泵體內(nèi)部的腐蝕程度。

 隨泵配送選購件：

可選購消音器、冷卻水流量開關(guān)、氮?dú)饬髁块_關(guān)、泵溫傳感器。

 適用于行業(yè)：

 活性氣體（CVD/刻蝕等）

 排出非活性氣體（濺射鍍膜、蒸氣鍍膜、熱處理、液晶注入等）

 用于產(chǎn)生粉塵工藝中的排氣（Si單品爐等）

 作為前級泵使用（渦輪式分子泵、機(jī)械羅茨泵的前級泵）

 冷凍干燥等水蒸氣排氣。

愛發(fā)科干泵產(chǎn)品特性/Product characteristics

.LS系列：

同時(shí)具有高速排氣和低消耗電力特點(diǎn)的干泵。有4個(gè)機(jī)種可供選擇，根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件等可選擇條件適合的排氣量干泵。.CR系列：

CR系列VerB為取得國際標(biāo)準(zhǔn)的空冷式工具型干泵。由于排氣室中不使用油，轉(zhuǎn)子和圓筒為非接觸運(yùn)轉(zhuǎn)，可長時(shí)間穩(wěn)定運(yùn)轉(zhuǎn)。

GR系列是基于擁有大量實(shí)績和信賴性的LR/HR系列，面向一般產(chǎn)業(yè)設(shè)計(jì)的構(gòu)造較為簡單的干泵。

·LR/HR/UR系列（東莞誠合真空設(shè)備提供愛發(fā)科真空泵維修ULVAC愛發(fā)科干泵維修，各種真空解決方案）

LR/HR/UR系列采用獨(dú)自開發(fā)的高溫均熱化技術(shù)，有效利用壓縮熱，實(shí)現(xiàn)了在CVD、刻蝕等的硬件工藝的高耐久性。在產(chǎn)線工藝上，和ECO-SHOCK一起使用，可實(shí)現(xiàn)降低大80%的消耗電力。此外，高維修性能和低噪音，可對應(yīng)全機(jī)種CE(可選項(xiàng)）。可進(jìn)一步了解ECO-SHOCK詳細(xì)情況。

·干泵節(jié)能適配器ECO-SHOCK ES10（東莞誠合真空設(shè)備提供愛發(fā)科真空泵維修ULVAC愛發(fā)科干泵羅茨泵維修，各種真空解決方案）

ECO-SHOCK適配器配合選擇使用的干泵，可實(shí)現(xiàn)大幅度節(jié)省電力能源。

·干泵節(jié)能適配器ECO-SHOCK ES4A

ECO-SHOCK是一種配合干泵使用可實(shí)現(xiàn)大幅降低消耗電能的適配器。

ES4A需要在裝載室頻繁取出放入的情況下，或者像渦輪分子泵那樣達(dá)到壓力需要長時(shí)間運(yùn)轉(zhuǎn)的前級干泵的電能削減是合適的。