干式真空泵是未來行業(yè)的發(fā)展趨勢。雖然現(xiàn)在用得不多，但除了價格高之外，也有用戶對干式真空泵不太了解，看不到未來給企業(yè)帶來的經(jīng)濟效益。小編認為干式真空泵的維護重點在于如何優(yōu)化干式真空泵的選擇。

　　對于這些不同類型的干式真空泵，我們渴望減小它們的物理尺寸。但這與真空泵的抽吸速率相矛盾，因為真空泵的抽吸速率與真空泵的體積成正比，并且小的物理尺寸意味著小的體積。當然，還有另一個影響真空泵抽速的重要因素，即轉(zhuǎn)速。為了使小型真空泵的抽速與大型真空泵的抽速相匹配，有必要提高其轉(zhuǎn)速。改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一種是改變電源的頻率，即使用變頻器;二是改變變速箱的傳動比。其中，采用變頻器的優(yōu)點是可以提供閉環(huán)控制，但在重載下容易造成轉(zhuǎn)矩損失。改變變速箱的傳動比是一種非常經(jīng)濟的方法，當然，它只能提供不可控的單速。

　　現(xiàn)在，我們可以看到有這么多不同設計的干式真空泵，每一個都有自己的特點，優(yōu)點和缺點。長期以來，使用成本是影響人們選擇真空泵的一個重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到真空泵運行的穩(wěn)定性也應該考慮在內(nèi)。因為真空泵的意外錯誤會降低機器的效率，影響晶圓的生產(chǎn)和交付時間，甚至會造成加工后的晶圓報廢和機器其他部件的損壞。由于螺桿設計是單級設計，與多級泵如葉片泵、爪式泵和組合泵相比，使用的零件數(shù)量減少了60%。這使得它在未來的穩(wěn)定性和維護成本方面具有很大的優(yōu)勢。

　　總之，如果用戶認為功耗對他來說很重要，但氮氣消耗對他來說不重要，那么選擇內(nèi)壓縮螺釘是一個很好的選擇。總的來說，對尾氣處理的要求越來越嚴格，這使得今后減少氮的用量變得更加重要。如果你想簡化你的庫存控制，通過使用一個單一類型的泵來處理各種半導體工藝沒有改變，那么外部壓縮螺釘是你的最佳選擇。

　　在真空泵的維護中，應注意以下幾點：

　　(1)泵的制造精度高，如果不需要，就不必拆卸，以免因維護不當而降低精度。當然，維修工人應該提高他們的技術(shù)水平。當泵的技術(shù)性能惡化時，應及時修復，最好定期維護(一年)。

　　維護期間，從真空系統(tǒng)中取出泵后，開始檢查并泵出。如果確認必須拆下泵進行修理，按照以下步驟取出：處的保護蓋，拆下三角帶、大皮帶和排氣口，松開各進氣口處的壓蓋，待油清洗干凈后，拆下保護蓋和油封室，取出主軸(不要弄斷鏈條)，然后取出左右座。